工程案例
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项目多角度
项目概况
项目地点:西北地区·陕西省·咸阳市
用户行业:晶体制造行业
核心诉求:水质洁净无污染、换热高效稳定、节水节能、防冻性能强、运行静音、维护便捷、适配精密制造工艺要求
解决方案:中乙制冷 ZYBN-125T方形逆流闭式冷却塔(两台,分两期供货)
设备类型:ZYBN系列方形逆流闭式冷却塔
塔体材质:镀铝镁锌板(适配咸阳干燥气候,抗紫外、耐老化)
结构形式:方形逆流式闭式冷却塔
技术亮点:水质洁净不污染被冷却介质、逆流换热效率较常规提升10%~20%、漂水率低于0.01%、防冻防结冰能力强、占地面积小且结构紧凑、运行能耗低综合成本低、可冷却多种工业介质、低噪音环保表现突出
咸阳旭光晶圆作为西北地区重要的晶体制造企业,对生产环境的稳定性与冷却水质的洁净度有着极高要求。晶圆生产过程中,光刻机、刻蚀机、离子注入机等核心设备需恒温冷却,且冷却水质必须保持高纯度——任何杂质或结垢都可能影响产品良率。针对咸阳旭光晶圆的专属冷却需求,中乙制冷定制ZYBN方形逆流闭式冷却塔解决方案,契合晶圆制造对水质洁净、温度稳定、防冻可靠的核心诉求,为晶体生产线提供高效、洁净、稳定的冷却支撑。
项目背景:中乙直击晶体制造冷却痛点
咸阳某晶体制造项目作为西北地区重要的晶圆制造基地,承担着区域集成电路制造职能,对生产环境稳定性要求极高。结合晶圆制造车间与生产需求,冷却环节存在多重核心痛点:生产线全年不间断运行,要求设备零故障、高负荷持续散热,适配西北干燥少雨、冬季严寒的气候;晶圆制造属精密加工,对冷却水质要求近乎苛刻,任何杂质或结垢都可能影响产品良率;作为高端制造基地,冷却系统需高能效、低耗水,符合绿色制造标准;建筑配套空间有限,设备需占地小、可模块化布置,适配厂房及配套区域安装;运维资源有限,设备需防腐耐用、易检修,降低后期维护成本;同时冷却系统冬季运行需防冻性能优异,防止盘管冻裂影响生产。
针对以上晶体制造专属需求与工况特性,中乙制冷分期量身定制两台125吨级ZYBN系列方形逆流闭式塔方案,通过科学选型、优化布局、系统集成的整体解决方案,全面破解晶圆生产线冷却难题,实现水质洁净、冷却效率、防冻可靠、节能节水的多方位平衡。

定制方案:中乙方形逆流闭式冷却塔的优势
中乙制冷采用的ZYBN系列方形逆流闭式冷却塔,从材质选型、结构设计到性能适配均围绕晶体制造需求展开,核心优势如下:
水质洁净,保障被冷却介质纯净:冷却水在封闭盘管内循环,不与外界空气直接接触,无灰尘、蚊虫、藻类、杂质进入系统。被冷却设备(螺杆机、变频器、液压站、中频炉等)不易结垢、不堵塞、不腐蚀,大大延长换热器、压缩机、管道寿命,减少清洗维护频次。对于晶圆制造这种对水质要求极高的行业,闭式塔是保障生产良率的关键设备。
逆流换热效率更高,冷却效果优异:空气与水流逆向流动,换热温差全程更大,换热更充分。相同散热面积下,冷却能力比横流闭式塔高10%~20%,出水温度更稳定,适合对温度敏感的精密设备。逆流结构风阻分布均匀,冬季不易局部结冰,盘管冻裂风险远低于横流塔。
镀铝镁锌板长效防腐,双重使用寿命保障:塔体采用镀铝镁锌板材质,镀层含锌、铝、镁三元合金,耐腐蚀性能比普通镀锌板强,适用于西北干燥气候,抗紫外线、耐老化。设计使用寿命长,大幅降低设备更换频率,保障晶体生产线长期稳定运行。
节水效果明显,漂水极少:闭式塔本身无蒸发飘水损失,仅喷淋水有少量蒸发,漂水率可低至0.01%以下,远优于传统开式塔,精准契合咸阳地区水资源管控要求,同时降低旭光晶圆的水费成本,符合高端制造基地的绿色制造标准,助力其实现绿色低碳运营。
占地面积小,结构紧凑:方形模块化设计,多台可并联布置,同等冷却量下占地小于传统塔,适配基地空间有限现状;工厂预制、现场吊装就位即可投用,缩短施工周期,减少生产干扰,适配狭小场地安装。
运行能耗低,综合成本低:换热效率高,风机、喷淋泵可选用更小功率;盘管洁净不结垢,长期运行效率无衰减;几乎无需加药、清洗、换水,运维成本大幅降低。较传统冷却塔节能效果显著,契合绿色工厂认证要求。
适用范围广,适配晶圆多元工艺:不仅能冷却水,还能冷却导热油、乙二醇溶液等多种工业介质,且介质不挥发、不损耗、不污染,精准满足晶体制造过程中多元化的工艺冷却需求,无需额外配备多种冷却设备,简化系统布局。
低噪音环保,契合车间环境要求:设备结构规整,气流顺畅,运行噪音控制在合理范围,且无大量水雾飘散,不会对旭光晶圆的生产车间、周边环境造成影响,完全满足高端制造基地的环保及生产环境要求。

价值共创:中乙深耕晶体制造冷却领域
中乙制冷ZYBN系列方形逆流闭式冷却塔在咸阳旭光晶圆成功投运,标志着中乙制冷在晶体制造领域冷却解决方案实现重大突破。分两期供货的两台ZYBN-125T逆流闭式塔,自投运以来运行稳定,水质始终保持洁净,设备冷却效果稳定,完全满足晶圆生产需求。
中乙ZYBN方形逆流闭式冷却塔方案,凭借水质洁净不污染、逆流换热效率高、镀铝镁锌板长效防腐、超高节水率、占地面积小、防冻性能优异、运行能耗低、可冷却多种介质、低噪音环保等核心优势,不仅精准破解了晶体生产线冷却系统的多重痛点,保障了晶圆制造恒温恒湿的生产环境与产品良率,更通过降低能耗与运维成本,为高端制造基地的绿色运营提供了有力支撑。
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